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压力调节系列 - LDetek LDPRR

产品分类: 配件

压力调节系列 - LDetek LDPRR用于半导体制造的减压调节器特点VCR 型调节器专为半导体应用设计内表面 b. A. 等级至e. P. 10 ra, 5 ra在100级和10级洁净室进行所有操

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压力调节系列 - LDetek LDPRR

用于半导体制造的减压调节器

特点

  • VCR 型调节器

  • 专为半导体应用设计

  • 内表面 b. A. 等级至e. P. 10 ra, 5 ra

  • 在100级和10级洁净室进行所有操作

  • 无螺纹型

  • 锁定板密封系统


LDPRR调压器系列是专为超高半导体专用生产线、大宗气体管道及其他设施管道设 计的减压调压器。为了在半导体二次配管线上使用,调压器的内表面经过处理,达 到E.P.10Ra、5Ra的B.A.级水平。一个特殊的锁定板系统已经开发和应用。该系列 的所有工艺装配、焊接、测试和清洗都是在无尘室中进行和全面管理。

开发了推锁式手柄,完全避免了因外界振动或气体管路的微小振动而导致的预设值 的自行改变。您只需按下手柄就可以防止预设值的自行改变,并通过拉动手柄自由 地重置数值。

  • 半导体制造

  • 大宗气体管道



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